光刻機(jī)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模 光刻機(jī)行業(yè)投資前景分析2023

• 吳澳燕 2023年8月3日 來源：互聯(lián)網(wǎng) 403 19
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光刻機(jī)作為半導(dǎo)體設(shè)備三大件之一，是人類文明智慧的結(jié)晶，被譽(yù)為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”。公開資料顯示，光刻機(jī)是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的核心設(shè)備，技術(shù)含量、價(jià)值含量極高。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩模版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上，經(jīng)過十余代的

光刻機(jī)作為半導(dǎo)體設(shè)備三大件之一，是人類文明智慧的結(jié)晶，被譽(yù)為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”。公開資料顯示，光刻機(jī)是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的核心設(shè)備，技術(shù)含量、價(jià)值含量極高。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩模版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上，經(jīng)過十余代的發(fā)展迭代，目前最先進(jìn)光刻機(jī)單次曝光可以做到低于5nm的分辨率。

按照用途，光刻機(jī)可分為制造芯片用光刻機(jī)、封裝用光刻機(jī)、顯示和MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等領(lǐng)域用光刻機(jī)三大類。業(yè)界通常把集成電路/芯片的制造稱為前道工藝，封裝稱為后道工藝，所以制造芯片用光刻機(jī)也被稱為前道光刻機(jī)，封裝用光刻機(jī)則被稱為后道光刻機(jī)。

光刻機(jī)主要作用是通過包含器件結(jié)構(gòu)信息的圖型化掩膜版及光刻膠，在半導(dǎo)體材料表面形成一定形狀的器件結(jié)構(gòu)，前道光刻機(jī)和后道光刻機(jī)雖然都是光刻機(jī)，但工藝、用途不一樣，前者用于器件成型，后者做金屬電極接觸。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年光刻機(jī)市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀調(diào)查及供需格局分析預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示：

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括上游設(shè)備及配套材料、中游光刻機(jī)系統(tǒng)集成和生產(chǎn)及下游光刻機(jī)應(yīng)用三大環(huán)節(jié)，技術(shù)極為復(fù)雜，涉及系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，部分機(jī)型所需的零部件更是多達(dá)數(shù)十萬件，因此光刻機(jī)的生產(chǎn)通常涉及上千家供應(yīng)商。

其中，光刻機(jī)上游國(guó)內(nèi)代表企業(yè)包括福晶科技、奧普光電、南大光電、容大感光、華潤(rùn)微、精測(cè)電子、芯源微、菲利華、清溢光電、茂萊光學(xué)、美埃科技等。

光刻機(jī)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模

2021年全球光刻機(jī)市場(chǎng)規(guī)模為181億美元，全球光刻機(jī)前三大廠商的市場(chǎng)份額占比達(dá)90%以上，根據(jù)前三大廠商的銷售數(shù)據(jù)顯示，2015-2021年,全球光刻機(jī)銷售量總體增長(zhǎng)，2021年達(dá)478臺(tái)。

光刻機(jī)市場(chǎng)集中度高，ASML、Nikon、Canon市場(chǎng)占有率超過90%，其中ASML由于其技術(shù)領(lǐng)先，壟斷了EUV光刻機(jī)，獨(dú)占75%的市場(chǎng)份額，Nikon與Canon分別占據(jù)13%和6%的市場(chǎng)份額。ASML的光刻機(jī)技術(shù)在全球處于絕對(duì)領(lǐng)先地位，EUV領(lǐng)域ASML市占率為100%，ArFi、ArF領(lǐng)域市占率分別高達(dá)96%、88%。

國(guó)內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)起步較晚，與海外具體差距明顯。1977年，清華大學(xué)精密儀器系、中科院光電所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所(簡(jiǎn)稱中電科45所)等先后投入研制光刻機(jī)。我國(guó)也時(shí)隔近十年，研制出了具有一定代表意義的光刻機(jī)——接觸式光刻機(jī)GK-3型半自動(dòng)光刻機(jī)。

光刻機(jī)行業(yè)投資前景分析2023

半導(dǎo)體是光刻機(jī)的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，中國(guó)政府出臺(tái)一系列政策支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，包括資金支持、稅收優(yōu)惠等，刺激了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展，進(jìn)而推動(dòng)了光刻機(jī)市場(chǎng)規(guī)模的上漲。

“十三五”計(jì)劃推動(dòng)了我國(guó)云計(jì)算、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、智能電網(wǎng)、汽車電子、移動(dòng)智能終端、網(wǎng)絡(luò)通信等應(yīng)用的持續(xù)落地，帶動(dòng)半導(dǎo)體需求持續(xù)釋放，是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵時(shí)期。據(jù)WSTS統(tǒng)計(jì)，2021年中國(guó)已成為全球最大和貿(mào)易最活躍的半導(dǎo)體市場(chǎng)，市場(chǎng)規(guī)模為1,925億美元，同比增長(zhǎng)26.9%，占全球市場(chǎng)三分之一以上。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有周期性波動(dòng)特征，產(chǎn)能過剩和需求不足會(huì)導(dǎo)致光刻機(jī)產(chǎn)量下降。而近些年中國(guó)光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加快，盡管中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)取得了一定的發(fā)展，但與國(guó)際領(lǐng)先水平相比，仍存在一些技術(shù)限制，尤其是高端光刻機(jī)技術(shù)受制于國(guó)外供應(yīng)商。

根據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2022年中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)量約為95臺(tái)，需求量約為652臺(tái)。光刻機(jī)的研發(fā)、制造和維護(hù)成本較高，特別是高性能光刻機(jī)。然而，在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)加劇的情況下，制造商為了降低成本和提高競(jìng)爭(zhēng)力，不得不考慮降低價(jià)格。這導(dǎo)致了市場(chǎng)均價(jià)的下降。2022年中國(guó)光刻機(jī)均價(jià)約為2267.2萬元/臺(tái)。

據(jù)報(bào)道，上海微電子正致力于研發(fā)28納米浸沒式光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2023年年底向市場(chǎng)交付國(guó)產(chǎn)的第一臺(tái)SSA/800-10W光刻機(jī)設(shè)備。此前，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布了一項(xiàng)華為新的專利“反射鏡、光刻裝置及其控制方法”，在極紫外線光刻機(jī)核心技術(shù)上取得突破性進(jìn)展。

隨著國(guó)際形勢(shì)的不確定性日益增加，國(guó)產(chǎn)化成為了核心硬科技發(fā)展的必然趨勢(shì)。光刻機(jī)作為現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)設(shè)施，其國(guó)產(chǎn)化突破將進(jìn)一步帶動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，其中上游光學(xué)元器件意義重大，市場(chǎng)空間廣闊。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的核心在于技術(shù)創(chuàng)新，因此，提高研發(fā)投入和技術(shù)水平是非常關(guān)鍵的。中國(guó)光刻機(jī)企業(yè)應(yīng)該加強(qiáng)研發(fā)投入，不斷提高技術(shù)水平和創(chuàng)新能力，推動(dòng)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

光刻機(jī)研究報(bào)告以行業(yè)為研究對(duì)象，并基于行業(yè)的現(xiàn)狀，行業(yè)經(jīng)濟(jì)運(yùn)行數(shù)據(jù)，行業(yè)供需現(xiàn)狀，行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局，重點(diǎn)企業(yè)經(jīng)營(yíng)分析，行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析，市場(chǎng)集中度等現(xiàn)實(shí)指標(biāo)，分析預(yù)測(cè)行業(yè)的發(fā)展前景和投資價(jià)值。通過最深入的數(shù)據(jù)挖掘，對(duì)行業(yè)進(jìn)行嚴(yán)謹(jǐn)分析，從多個(gè)角度去評(píng)估企業(yè)市場(chǎng)地位，準(zhǔn)確挖掘企業(yè)的成長(zhǎng)性，已經(jīng)為眾多企業(yè)帶來了最專業(yè)的研究和最有價(jià)值的咨詢服務(wù)過程。

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  2023-2028年光刻機(jī)市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀調(diào)查及供需格局分析預(yù)測(cè)報(bào)告

  光刻機(jī)研究報(bào)告對(duì)光刻機(jī)行業(yè)研究的內(nèi)容和方法進(jìn)行全面的闡述和論證，對(duì)研究過程中所獲取的光刻機(jī)資料進(jìn)行全面系統(tǒng)的整理和分析，通過圖表、統(tǒng)計(jì)結(jié)果及文獻(xiàn)資料，或以縱向的發(fā)展過程，或橫向類別...

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